光學(xué)元件在各個(gè)領(lǐng)域都有廣泛應用,對光學(xué)元件的表面加工精度提出越來(lái)越高的要求。如何檢測光學(xué)元件的加工精度,從而用于優(yōu)化加工方法,保證最終元器件的性能指標,是光學(xué)元件加工領(lǐng)域的關(guān)鍵問(wèn)題之一。
光學(xué)元件的加工精度包括表面質(zhì)量和面型精度,這些參數會(huì )影響其對光信號的傳播,進(jìn)而影響最終器件的性能。
此外,各種新型光學(xué)元件也需要檢測其表面輪廓,比如非球面,衍射光學(xué)元件,微透鏡陣列等。除了最終光學(xué)元件的加工精度以外,各種光學(xué)元件加工工藝也需要檢測中間過(guò)程的三維形貌以保證最終產(chǎn)品的精度,包括注塑、模壓的模具,光學(xué)圖案轉印時(shí)的掩膜版,刻蝕過(guò)程的圖案深度、寬度等。
布魯克的三維光學(xué)顯微鏡配備的雙光源技術(shù),同時(shí)實(shí)現白光干涉和相移干涉成像,適用于各種不同光學(xué)樣品、模具的三維形貌測量。在光學(xué)加工領(lǐng)域得到廣泛應用。
· 設備可以用于光學(xué)元件表面質(zhì)量檢測,可以通過(guò)表面粗糙度、表面斜率分布等判斷光學(xué)元件整體散射率,也可以統計局部的各種缺陷。
· 設備還可以用于各種光學(xué)元件的面型分析,除了手動(dòng)分析以外,軟件還提供了包括Zernike多項式擬合、非球面分析等功能。
· 由于該設備能準確測量和分析光學(xué)元件,在多種先進(jìn)光學(xué)元件中得到廣泛應用,包括光柵、菲涅爾透鏡和二元光學(xué)元件等衍射光學(xué)元件,以及微透鏡陣列等。
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