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    Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線(xiàn)衍射儀 XRD

    簡(jiǎn)要描述:Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線(xiàn)衍射儀 XRD

    ——用于 LED 和外延層晶圓分析的生產(chǎn)專(zhuān)用高分辨率 X 射線(xiàn)衍射系統

    • 所在城市:上海市
    • 廠(chǎng)商性質(zhì):經(jīng)銷(xiāo)商
    • 更新日期:2024-04-18
    • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:4994
    詳細介紹
    品牌Bruker/布魯克價(jià)格區間100萬(wàn)-150萬(wàn)
    儀器種類(lèi)探測器及其他設備應用領(lǐng)域化工,電子
    屬性X射線(xiàn)衍射儀

    Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線(xiàn)衍射儀 XRD

    ——用于 LED 和外延層晶圓分析的生產(chǎn)專(zhuān)用高分辨率 X 射線(xiàn)衍射系統
















    產(chǎn) 品 概 述

    Bruker’的 JV-QCVelox 是長(cháng)期運行的 JV-QC 儀器中新、先進(jìn)的 HRXRD。
    它是化合物半導體行業(yè)高分辨率 X 射線(xiàn)衍射的專(zhuān)用質(zhì)量控制工具。 它適用于表征所有常見(jiàn)的半導體襯底,包括Si、GaAs、InP、GaN 等。
    測量可以部分或*自動(dòng)化運行,用戶(hù)可自定義的腳本處理日常工作。

    VeloMAX™ 光學(xué)器件:通過(guò) 10 倍以上的強度改進(jìn)實(shí)現高生產(chǎn)率













    JV-QC-Velox 系統的入射光束包括許多標準功能以獲得高強度。 晶體選擇根據材料進(jìn)行了優(yōu)化:


    ·在不損失分辨率的情況下,提高了通量并提高了可重復性。
    ·在不降低分辨率的情況下,可以實(shí)現比以前更快的測量和更高的精度。 這是在 MQW 分析中保持準確的成分值的關(guān)鍵。
    ·多層反射鏡作為所有 JV-QC-Velox 系統的標準配置
    ·對于高鑲嵌樣品,使用 25 英寸的調節晶體發(fā)散角來(lái)增強系統(標配)
    ·對于傳統的 III-V 系統,可以提供更高分辨率的調節晶體 (<10") 來(lái)代替 25" 晶體(需要在采購訂單上注明)
    ·系統的校準可以輕松安全地進(jìn)行,機柜中沒(méi)有開(kāi)梁。

    ·檢測器級包括許多標準功能,可以增強系統的能力
    ·EDRc(增強動(dòng)態(tài)范圍)檢測器的動(dòng)態(tài)范圍 > 2x107
    ·自動(dòng)衰減器,通過(guò)控制軟件進(jìn)行控制。這將系統動(dòng)態(tài)范圍增加到超過(guò)3x108

    ·三軸晶體是獲得所需晶體的關(guān)鍵GaN測量的分辨率。
    ·電動(dòng)探測器狹縫允許對系統進(jìn)行控制分辨率,無(wú)需手動(dòng)更換模塊
    ·所有探測器級組件都是自動(dòng)對齊的通過(guò)電腦

    HRXRD 技術(shù)







    材料:?jiǎn)尉бr底(例如 Si、GaAs、InP、GaN)和外延
    層,包括多層結構
    參數:層厚度、成分和松弛、應變、區域均勻性、失配、摻雜劑水平、錯切、層傾斜。
    ·直接測量多層結構內層的松弛/應變/組成
    ·自動(dòng)樣品校準、測量、分析和報告

    ·由 JV-RADS 軟件執行的分析。
    ·化合物半導體襯底可實(shí)現對稱(chēng)、非對稱(chēng)和斜對稱(chēng)反射

    VeloSWAP: 高級樣品板

    運動(dòng)學(xué)樣品板:可以快速更換樣品板——每個(gè)板都可以在幾秒鐘內移除/更換。 由于運動(dòng)加載,安裝后無(wú)需對齊板。 可以提供多個(gè)板并互換使用。
    ·31 x 2" 運動(dòng)學(xué)樣品板,用于大批量測量,以增加板重新加載之間的
    時(shí)間并提高生產(chǎn)力和工具效率。
    ·外部條碼閱讀器可以安裝到工具或獨立站。







    JV-QCVelox 配備機器人,可從晶圓盒進(jìn)行全自動(dòng)測量

    ·2" 至 200 毫米磁帶
    ·自動(dòng)檢測晶圓盒尺寸
    ·任意數量插槽的任意配方組合
    ·提高更大晶圓尺寸的生產(chǎn)力
    ·無(wú)需人工處理晶圓,提高晶圓清潔度

    bruker布魯克 JV-QCVelox X射線(xiàn)衍射儀 XRD產(chǎn)品規格

    Bruker布魯克 JV-QCVelox X射線(xiàn)衍射儀 XRD




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